( 213) # 22Б2213
Автор(ы): Баччи Т., Борки Е., Бруцци М., Санторо М., Скиортино С.
Оригинальное заглавие: Особенности структуры и электрические свойства алмазных пленок, полученных плазмохимическим осаждением в тлеющем разряде на постоянном токе
Язык: Рус.
Источник: Неорган. матер. 4, 1998, т.34, стр.406-417
Ключевые слова: пленки; кристаллическая структура; электрические свойства; микроскопия электронная; спектроскопия КР; рентгенография

Реферат: Представлены результаты исследования алмазных пленок, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы в тлеющем разряде на постоянном токе при различных концентрациях метана и температурах подложки. Морфология и текстура трех образцов, полученных при постоянном соотношении метана и водорода (3.8 об.% СН[4]), изучены с помощью растровой электронной микроскопии, а также рентгенографического анализа и микроспектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС). В интервале температур подложки 950-1100°C наблюдаются такие же изменения морфологии пленок, что и при газофазном осаждении с микроволновой активацией. Это подтверждает предположение о том, что структурные свойства алмазных пленок, полученных газофазным осаждением, определяются условиями роста и не зависят от метода активации плазмы. Данные микроспектроскопии КРС и вольтамперные характеристики указывают на то, что транспортные процессы в пленках обусловлены повышенной электрической проводимостью вдоль границ зерен, связанной с присутствием низкоомных графитоподобных фаз. Установлено, удельное электросопротивление пленок возрастает с увеличением скорости роста и достигает 10{13} Ом*см при скорости осаждения 10-20 мкм/ч. Таким образом, скорость осаждения является параметром, определяющим качество пленок и учитывающим совместное влияние концентрации метана и температуры подложки при постоянной плотности мощности. В высокоомных образцах токи утечки определяются вкладом неалмазных углеродных фаз при комнатной температуре и примесным азотом при повышенных температурах