( 236) # 22Б2236
Автор(ы): Bergunde T., Dauelsberg M., Kadinski L., Makarov Yu. M., Yuferev V. S., Schmitz D., Strauch G., Jurgensen H.
Заглавие: Оптимизация процесса выращивания из паровой фазы МОС путем численного моделирования явлений переноса, в том числе теплового излучения
Оригинальное заглавие: Process optimization of MOVPE growth by numerical modelling of transport phenomena including thermal radiation
Язык: Англ.
Источник: J. Cryst. Growth 3-4, 1997, т.180, стр.660-669
Ключевые слова: кристаллы рост; моделирование математическое; массоперенос; теплоперенос

Реферат: Представлена модель роста соед. A{III}B{V} из паров МОС (MOVPE) на основе вычисления методом конечных элементов тепловых и массовых потоков, в т. ч. анализа теплопереноса излучением, многокомпонентной диффузии, и гомог. и гетерог. химических р-ций