( 254) # 22Б2254
Автор(ы): Lee J.-S., Matsubara T., Sei T., Tsuchiya T.
Заглавие: Получение и свойства допированных Y[2]O[3] тонких пленок ZrO[2], изготовленных золь-гельным методом
Оригинальное заглавие: Preparation and properties of Y[2]O[3]-doped ZrO[2] thin films by the sol-gel process
Язык: Англ.
Источник: J. Mater. Sci. 19, 1997, т.32, стр.5249-5256
Ключевые слова: кристаллы рост; пленки; цирконий диоксид

Реферат: Пленки ZrO[2] допированные Y[2]O[3] до 20 мол.% получены золь-гельным методом из исходных ZrOCl[2]*8H[2]O и YCl[3]*6H[2]O с использованием в качестве растворителя смеси этиленгликоля, бутанола и воды. Нанесение пленок на подложку из Al[2]O[3] осуществляли путем погружения, после пятикратного погружения и последующего отжига при 600°C в течение 2 ч толщина пленок составляла 0,6 мкм. Микроструктура пленок исследована с помощью сканирующей электронной микроскопии. По данным РФА пленки с тетрагональной формой ZrO[2], образующиеся после отжига при 600°C, при повышении температуры отжига до 1000°C и выше превращаются в пленки с либо моноклинной, либо кубической формой ZrO[2] (для 8 мол.% Y[2]O[3] образуются однофазные пленки с кубической формой ZrO[2]). Импедансные измерения для полученных пленок показывают, что их электропроводность сравнима с электропроводностью соответствующих образцов, полученных спеканием