Автор(ы): Пономарева Е. В.
Оригинальное заглавие: Анализ методов получения слоев поликристаллического кремния и перспективы их применения в изделиях микроэлектроники
Язык: Рус.
Источник: Межвуз. науч.-техн. конф. студ. и аспирантов "Микроэлектрон. и информат.-97", Москва, 1997: Тез. докл. Ч. 1, 1997, стр.109
Ключевые слова: кристаллы рост; кремний; конференции
