( 326) # 22Б2326ДЕП
Автор(ы): Кормишина Ж. А., Перевощиков В. А., Скупов В. Д., Смолин В. К., Щербакова И. А.
Оригинальное заглавие: Структура приборных слоев композиций "кремний на изоляторе", полученных термокомпрессионным соединением
Язык: Рус.
Ключевые слова: кремний; динамика решетки

Реферат: Изложены экспериментальные результаты исследований структурных изменений, протекающих в кристаллах кремния, подвергаемых термокомпрессионному соединению кремниевых пластин (BW-метод) с последующим абразивно-химическим утонением одной из них до требуемой толщины приборного слоя. Исследования выполнены на структурах КНИ, изготовленных из пластин монокристаллического кремния КДБ-12 (001), соединенных между собой термокомпрессией через слой фосфоро-силикатного стекла, с последующей абразивно-химической обработкой связанным и свободным абразивом и финишным химико-механическим полированием. Качество структур и кристаллографическое совершенство анализировались методами двухкристальной дифрактометрии, ИК спектрометрии и оптической металлографии. Показано, что при формировании приборных слоев BW-методом происходит: трансформация микродектов, увеличение их размера и плотности; частичная диссоциация и растворение кластеров приводит к снижению амплитуды неоднородности распределения их собственных полей упругих напряжений; формирование центров внутреннего геттерирования для примесей и неравновесных собственных точечных дефектов