( 407) # 22Б2407
Автор(ы): Злобин В. А.
Оригинальное заглавие: Применение метода наведенного тока для исследований интегральных полупроводниковых приборов большой мощности
Язык: Рус.
Источник: Поверхность: Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 1, 1998, стр.20-25
Ключевые слова: полупроводниковые приборы; конференции

Реферат: Рассмотрены развитие метода наведенного электронным пучком тока и некоторые его применения для исследования современных типов мощных полупроводниковых приборов. Показано, что метод наведенного тока позволяет наблюдать квазитрехмерное изображение управляющего перехода в структуре тиристора с полевым управлением (SITh). Метод электронно-зондового тестирования развит для измерения распределения коэффициента усиления в элементах мощных биполярных и биполярно-полевых интегральных транзисторов



Hosted by uCoz