( 430) # 22Б2430
Автор(ы): Михеев Н. Н., Степович М. А.
Оригинальное заглавие: Обратное рассеяние электронов зонда растрового электронного микроскопа в многослойных тонкопленочных структурах при нормальном падении пучка
Язык: Рус.
Источник: Поверхность: Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 1, 1998, стр.6-13
Ключевые слова: электроны; микроскопия электронная; конференции

Реферат: Рассмотрены вопросы использования обратнорассеянных электронов средних энергий (1-50 кэВ) для количественной послойной диагностики многослойных тонкопленочных структур в растровом электронном микроскопе. Показаны возможности послойной диагностики тонкопленочных структур с субмикронным разрешением на основе вариации энергии первичного пучка электронов и на основе фильтрации энергетического спектра обратнорассеянных электронов



Hosted by uCoz