( 514) # 22Б2514
Автор(ы): Henkel T., Heera V., Kogler R., Skorupa W., Seibt M.
Заглавие: Кинетика индуцированной ионным пучком межфазной аморфизации в кремнии
Оригинальное заглавие: Kinetics of ion-beam-induced interfacial amorphization in silicon
Язык: Англ.
Источник: J. Appl. Phys. 11, 1997, т.82, стр.5360-5373
Ключевые слова: аморфизация; кремний

Реферат: Обзор результатов моделирования и эксперим. исследований индуцированной ионным пучком межфазной аморфизации в кремнии. Показано, что этот процесс отличается от хорошо известной объемной аморфизации с точки зрения подхода плотности крит. энергии и развития шероховатости поверхности раздела между аморф. и крист. фазами в течение облучения ионами. Индуцированная ионным пучком межфазная аморфизация зависит от т-ры подложки, потока ионов и энергии, выделившейся в ядерных столкновениях на поверхности раздела между аморф. и крист. фазами. Полученные результаты не м. б. объяснены на основе существующей модели. Предложена новая модель, основанная на эффектах баллистич. процессов, к-рая позволяет объяснить эксперим. результаты, полученные при низких температурах. Библ. 50



Hosted by uCoz