Автор(ы): Дубровин С. А., Вукович Н. С.
Оригинальное заглавие: Метастабильные состояния на границе раздела аморфный гидрогенизированный кремний-диэлектрик
Язык: Рус.
Источник: Межвуз. науч.-техн. конф. студ. и аспирантов "Микроэлектрон. и информат. - 97", Москва, 1997: Тез. докл. Ч., 1997, стр.35
Ключевые слова: поверхности раздела; кремний; диэлектрики
