( 526) # 22Б2526
Автор(ы): Сергеев С. А., Шутов С. Д.
Оригинальное заглавие: Электронно-стимулированное формирование рельефных наложенных дифракционных решеток в пленках халькогенидного стекла
Язык: Рус.
Источник: Электрон. обраб. матер. 5-6, 1995, стр.58-63, 109
Ключевые слова: стекла

Реферат: С помощью электронно-лучевой записи и последующего химического травления в аморфных пленках As[2]S[3] сформированы рельефные наложенные дифракционные решетки с периодами 1 и 2 мкм. Изучено влияние условий записи-травления и количества наложений (N) на дифракционную эффективность (ДЭ) решеток. Обсуждается влияние переоблучения в узлах пересечения линий на ДЭ наложенных решеток. Наибольшие значения дифракционной эффективности в пропускании составили примерно 8 (N=3) и 4% (N=4) для решеток обоих периодов