( 570) # 22Б2570
Автор(ы): Арутюнов П. А., Толстихина А. Л.
Оригинальное заглавие: Феноменологическое описание характеристик поверхности, измеряемых методом атомно-силовой микроскопии
Язык: Рус.
Источник: Кристаллография 3, 1998, т.43, стр.524-534
Ключевые слова: поверхности; микроскопия

Реферат: Рассмотрены феноменологич. х-ки поверхности, определяемые в терминах микрогеометрии и классич. статистики методом атомно-силовой микроскопии (максим. размах высот, шероховатость, асимметрия и эксцесс, масштабная корреляц. функция, спектральная плотность и энергетич. спектр, функция когерентности). Описан алгоритм расчета шероховатости поверхности, исключающий погрешности измерения при установке зонда и увеличении зоны сканирования. Приведены численные результаты, характеризующие масштабные св-ва шероховатости и др. характеристик поверхности. Сформулированы задачи статистич. анализа иерархич. структуры шероховатости в системе "точка-зона сканера-пластина"