( 574) # 22Б2574
Автор(ы): Шкода Л. Н., Асанов И. П., Хандрос В. О., Мазалов Л. Н., Варламов Ю. Д., Соболев Д. Ю.
Заглавие: Метод исследования фазового состава поверхности по данным оже-спектроскопии с использованием кластерного анализа и метода главных компонент
Язык: Рус.
Источник: Поверхность: Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 11, 1997, стр.49-56
Ключевые слова: поверхности; равновесие фазовое; спектроскопия оже-электронная

Реферат: Предложен метод исследования фазового состава поверхности путем обработки эксперим. данным оже-спектроскопии методами кластерного анализа и главных компонент. На примере ВТСП-пленок и системы Pt-Al[2]O[3] показано, что с помощью метода можно обнаружить неоднородности состава поверхности образцов, выделить отдельные фазы и определить соотношение элементов в них. Результаты сравниваются с данными, полученными при исследовании этих объектов методом рентгеноспектрального микроанализа