( 608) # 22Б2608
Автор(ы): Фраерман А. А., Вайнер Ю. А., Митенин С. В., Салащенко Н. Н., Шамов Е. А.
Оригинальное заглавие: Определение параметров коротко-периодных многослойных рентгеновских зеркал
Язык: Рус.
Источник: Поверхность: Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 12, 1997, стр.57-61
Ключевые слова: зеркала; пленки

Реферат: Описана методика определения основных параметров многослойных короткопериодных структур из сверхтонких пленок (с толщинами <=1 нм), таких как величина периода и толщины отдельных слоев в периоде, плотности материалов слоев, среднеквадратичная высота неровностей границ раздела, дисперсия и средняя величина флуктуаций толщин периодов. Методика основана на анализе угловых зависимостей коэффициентов зеркального отражения рентгеновского излучения на различных длинах волн. Приведены примеры рентгеновской диагностики изготовленных короткопериодных многослойных структур на основе Cr/Sc и W/Sc