( 609) # 22Б2609
Автор(ы): Герасимов В. М., Мица В. М., Айвазов А. А.
Оригинальное заглавие: Концентрационный профиль элементов и локальная координация в пленках альфа-Si[1-x]N[x]:H
Язык: Рус.
Источник: Поверхность: Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 3, 1998, стр.49-53
Ключевые слова: пленки; кремний нитрид; химические элементы

Реферат: Исследованы ВИМС-профили пленок альфа-Si[1-x]N[x]:H, приготовленных методом ВЧ плазменного разложения смеси NH[3]H[2]+SiH[4]+NH[3] с конц-ией NH[3], равной 0, 2, 6, 10%. Также проанализированы ИК- и КР-спектры. Совместное рассмотрение ИК- и КР-спектров при различной конц-ии NH[3] в смеси свидетельствуют, что при 10% NH[3] в ПЛ формируются преимущественно связи Si-N и N-H. Анализ положения края поглощения ПЛ с различным содержанием NH[3] показал, что при 2% NH[3] положение края поглощения совпадает с краем поглощения альфа-Si:H и слабое азотирование альфа-Si:H практически не изменяет ширину псевдозапрещенной зоны и показатель преломления ПЛ. Однако при наличии 6% NH[3] в смеси край поглощения смещается в высокоэнергетич. область, и такое смещение еще более усиливается при содержании NH[3] в смеси, равном 10%



Hosted by uCoz