( 195) # 24Б2195
Автор(ы): Popova K., Spassova E., Zhivkov I., Danev G.
Заглавие: Реактивное ионное травление в CF[4]/O[2] полиамидных пленок, нанесенных из паровой фазы: влияние на морфологию поверхности
Оригинальное заглавие: Reactive ion etching of vapor phase deposited polyimide films in CF[4]/O[2]: effect on surface morphology
Язык: Англ.
Источник: Thin Solid Films 1-2, 1996, т.274, стр.31-34
Ключевые слова: пленки; травление; поверхности; морфология

Реферат: Исследован процесс реактивного травления полиамидных пленок толщиной 1,5 мкм в смеси CF[4]/O[2] при различных концентрациях компонентов. Скорость травления увеличивается с ростом концентрации CF[4] до 20% и затем уменьшается. Максимальная наблюдаемая скорость травления около 150 нм/мин. Морфология поверхности после травления зависит от содержания CF[4] в смеси. Поверхность наилучшего качества достигается при концентрации CF[4] более 40%. Сделан вывод о возможности применения использованного метода вакуумного испарения для нанесения полиамидных пленок в полностью "сухих" технологических процессах



Hosted by uCoz