( 202) # 24Б2202
Автор(ы): Rangsten Pelle, Hedlund Christer, Katardjiev Ilia V., Backlund Ylva
Заглавие: Скорости травления кристаллографических плоскостей у кварца Z-среза - эксперименты и моделирование
Оригинальное заглавие: Etch rates of crystallographic planes in Z-cut quartz - experiments and simulation
Язык: Англ.
Источник: J. Micromech. and Microeng. 1, 1998, т.8, стр.1-6
Ключевые слова: кристаллография; кварц; травление; микроскопия электронная

Реферат: Методом сканирующей электронной микроскопии поперечных разрезов фигур травления изучено травление полированных образцов (4,3*4,3 см{2}; 200 мкм) кварца Z-среза с защитной маской Cr/Au при 55°C в растворе HF (49,5 мас.%): NH[4]F (39,5 мас.%)=2:3. Треугольные или прямоугольные отверстия в защитной маске имели различный размер и ориентацию, что позволило установить зависимость скорости травления разных кристаллографических плоскостей и показать, что эти скорости меняются в ряду: m