( 241) # 24Б2241
Автор(ы): Xu S., Li Han-shi, Li Yin-an, Lee S., Huan C. H. A.
Заглавие: О структуре и составе поликристаллических пленок нитрида углерода, синтезированного реактивным радиочастотным магнетронным распылением
Оригинальное заглавие: On the structure and composition of polycrystalline carbon nitride films synthesized by reactive rf magnetron sputtering
Язык: Англ.
Источник: Chem. Phys. Lett. 5-6, 1998, т.287, стр.731-736
Ключевые слова: пленки

Реферат: Методами трансмиссионной электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и атомно-силовой микроскопии изучены пленки, полученные магнетронным распылением графита в азотной плазме при давлении 20 Па и осаждением на вращающейся охлаждаемой подложке из монокристаллического KCl. Показано, что осадок состоит из множества зерен, наибольший размер которых составляет 4 мкм. Атомы N связаны с sp{3}-гибридизованными атомами С, на поверхности осадка вследствие частичного окисления присутствует небольшое число атомов O. Атомное отношение N:C колеблется в пределах 1,23-1,27, что близко к ожидаемому 1,33 для Si[3]N[4]. Приведены рентгенометрические характеристики образца и показано, что его структура отвечает гексагональному бета-Si[3]N[4] с параметрами a 0,630 и c 0,246 нм. Это вещество по предсказаниям имеет модуль объемной деформации выше, чем у алмаза