Автор(ы): Chung J.-W., Dai Z. R., Ohuchi F. S.
Заглавие: Выращивание тонких пленок WS[2] химическим осаждением из паровой фазы МОС
Оригинальное заглавие: WS[2] thin films by metal organic chemical vapor deposition
Язык: Англ.
Источник: J. Cryst. Growth 1-2, 1998, т.186, стр.137-150
Ключевые слова: пленки
