( 256) # 24Б2256
Автор(ы): Gamulin Ozren, Ivanda Mile, Desnica Uros V., Furic Kresimir
Заглавие: Сравнение структурных изменений в аморфном кремнии, вызванных термическим и лазерным отжигом с использованием лазера, генерирующего в непрерывном режиме
Оригинальное заглавие: Comparison of structural changes in amorphous silicon induced by thermal and cw laser annealing
Язык: Англ.
Источник: J. Mol. Struct., 1997, т.410-411, стр.249-252
Ключевые слова: кремний; отжиг; лазеры

Реферат: Проведены термич. и фотоиндуцированный отжиги различных образцов аморф. кремния. Структурные изменения контролировались методом спектроскопии КР по сдвигу частоты и изменению в ширине фононной полосы аморф. кремния. В то время как термич. отжиг приводил к ожидаемому увеличению структурной упорядоченности с т-рой, фотоиндуцированный отжиг вызывал аномальное поведение, а именно возрастание неупорядоченности в течение облучения светом. Этот эффект обсужден на основе структурных перегруппировок атомов, вызванных фотоиндуцированными электронными переходами



Hosted by uCoz