( 437) # 24Б2437
Автор(ы): Sugioka Katsutoshi
Заглавие: Усиленная диффузия фосфора в кремнии при нагревании, обусловленная облучением
Язык: Яп.
Источник: Nippon kogyo daigaku kenkyu hokoku 2, 1996, т.26, стр.249-252
Ключевые слова: фосфор; диффузия; кремний