( 544) # 24Б2544
Автор(ы): Christova K., Dimitrova Z., Skordeva E.
Заглавие: Механическое напряжение в системе, состоящей из аморфной пленки Ge-As-S(Se) на кремниевой подложке
Оригинальное заглавие: Mechanical stress in amorphous Ge-As-S(Se) film/Si substrate system
Язык: Англ.
Источник: Thin Solid Films 1, 1997, т.306, стр.174-177
Ключевые слова: германий; мышьяк; халькогениды

Реферат: Методом колец Ньютона исследованы мех. напряжения, образующиеся в системе из аморфных пленок Ge-As-S или Ge-As-Se, напыленных на кремниевых подложках. В свежеприготовленных пленках наблюдалось нормальное напряжение сжатия, к-рое слегка зависело от состава пленки. После облучения или отжига пленки наблюдался переход к растягивающему напряжению, обусловленный необратимыми структурными изменениями, вызванными облучением и отжигом. Аморфные пленки Ge-As-S более чувствительны к фото- и термо-индуцированным изменениям, чем пленки Ge-As-Se и в последних напряжение меньше по величине. Предложено объяснение полученным результатам, основанное на изменении ближнего и среднего порядков структуры аморфной пленки



Hosted by uCoz