( 614) # 24Б2614
Автор(ы): Kato S., Hu H.
Заглавие: Изучение методом молекулярной динамики процесса формирования тонкой пленки [кремния при химическом осаждении из паровой фазы]
Оригинальное заглавие: Molecular dynamics simulation of the thin film fabrication process
Язык: Англ.
Источник: Surface Sci., 1996, т.357-358, стр.891-895
Ключевые слова: пленки; кремний; динамика; осаждение


Hosted by uCoz