( 618) # 24Б2618
Автор(ы): Wallace W. E., Wu W. L., Carpio R. A.
Заглавие: Изучение [процесса] хемомеханической полировки тонких пленок SiO[2] методом рентгеновской рефлектометрии
Оригинальное заглавие: Chemical-mechanical polishing of SiO[2] thin films studied by X-ray reflectivity
Язык: Англ.
Источник: Thin Solid Films 1-2, 1996, т.280, стр.37-42
Ключевые слова: полирование; пленки; кремний диоксид; рефлектометрия


Hosted by uCoz