Автор(ы): Nohira H., Sekikawa H., Matsuda M., Hattori T.
Заглавие: Влияние предварительного химического окисления [поверхности кремния] на структуру межфазных поверхностей SiO[2]/Si
Оригинальное заглавие: Effect of chemical preoxidation treatment on the structure of SiO[2]/Si interfaces
Язык: Англ.
Источник: Appl. Surface Sci., 1996, т.104-105, стр.359-363
Ключевые слова: поверхности раздела; кремний диоксид; кремний; окисление
