( 638) # 24Б2638
Автор(ы): Kuwano K., Ashok S.
Заглавие: Исследование межфазной поверхности [системы] напыленный (оксид индия-олова)/кремний: повреждения ионами, пассивация водородом и низко-температурный отжиг
Оригинальное заглавие: Investigation of sputtered indium-tin oxide/silicon interfaces: ion damage, hydrogen passivation and low-temperature anneal
Язык: Англ.
Источник: Appl. Surface Sci., 1997, стр.629-633
Ключевые слова: поверхности раздела; кремний; пассивация; водород; отжиг


Hosted by uCoz