Автор(ы): Guo Q., Sterratt D., Williams E. M.
Заглавие: Селективность метода электронно-стимулированной десорбции к химическому состоянию хлорированных соединений кремния
Оригинальное заглавие: Chemical selectivity with ESD of chlorinated silicon species
Язык: Англ.
Источник: Surface Sci., 1996, т.357-358, стр.402-406
Ключевые слова: десорбция; кремний соединения
