Автор(ы): Lu H. C., Gusev E. P., Garfunkel E., Gustafsson T.
Заглавие: Изучение взаимодействия кислорода с поверхностью (111) Si методом рассеяния ионов: огрубление поверхности и рост оксида
Оригинальное заглавие: An ion scattering study of the interaction of oxygen with Si(111): surface roughening and oxide growth
Язык: Англ.
Источник: Surface Sci. 1-3, 1996, т.351, стр.111-128
Ключевые слова: адсорбция; кислород; кремний; ионы; рассеяние; поверхности; оксиды; пленки
