( 190) # 24Б2190
Автор(ы): Огнев А. Н., Васильева Н. Д., Дмитриев В. А.
Оригинальное заглавие: Исследование морфологии эпитаксиальных слоев титанового силленита
Язык: Рус.
Источник: Изв. РАН. Сер. физ. 3, 1998, т.62, стр.502-509
Ключевые слова: кристаллическая структура; эпитаксия; кристаллы дефекты

Реферат: Катодным реактивным распылением на постоянном токе на изоструктурных подложках силикосилленита ориентаций (100), (110) и (111) получены мозаичные и монокристаллические слои титанового силленита Bi[12]TiO[20] толщиной от 0,6 до 2,5 мкм. Ориентация (110) обладает минимальным значением скорости осаждения, при которой наблюдается переход от роста мозаичных к монокристаллическим слоям. Мозаичные слои имеют характерную микроморфологию типа "брусчатой мостовой". Микрорельеф монокристаллических слоев имел вид "апельсиновой кожуры" или "песчаной ряби", а поверхность более гладких слоев нарушалась разнообразными морфологическими дефектами, обусловленными главным образом качеством предварительной подготовки подложек