( 207) # 22Б2207
Автор(ы): Cheng C.-L., Chang H.-C., Lin J.-C., Song K.-J., Wang J.-K.
Заглавие: Прямое наблюдение анизотропии травления водородом поверхности монокристалла алмаза
Оригинальное заглавие: Direct observation of hydrogen etching anisotropy on diamond single crystal surfaces
Язык: Англ.
Источник: Phys. Rev. Lett. 19, 1997, т.78, стр.3713-3716
Ключевые слова: монокристаллы; поверхности; травление; анизотропия

Реферат: Поверхности C(100), C(110) и C(111) естественного монокристалла алмаза травили 1 час при 1100 К атомарным Н, получаемым крекингом H[2] на W проволоке при 1800 К. Методами спектроскопии ИК-поглощения и дифракции электронов низкой энергии получены прямые доказательства анизотропии травления. В присутствии атомарного H на ПВ С(110) и С(100) необратимо формируются грани {111}, тогда как ПВ С(111) стабильна



Hosted by uCoz