( 314) # 22Б2314
Автор(ы): Нуприенок И. С., Чапланов А. М., Шибко А. Н.
Оригинальное заглавие: Влияние комбинированной обработки на фазовый состав пленок ванадий/кремний
Язык: Рус.
Источник: Неорган. матер. 3, 1998, т.34, стр.323-325
Ключевые слова: ванадий; кремний

Реферат: Методом электронографии исследованы фазовые превращения, происходящие на границе раздела V/Si при термическом отжиге и одновременном облучении с лямбда = 312,5 или 552,0 нм. Показано влияние фазовых изменений композиции на электрофизические параметры контакта V-Si



Hosted by uCoz