( 398) # 22Б2398
Автор(ы): [Сухарев Ю. Г.], Акулюшин И. Л., Жеревчук В. В., Савельев А. А., Андриянов А. В., Миронов В. С., Поляруш О. В.
Оригинальное заглавие: Электрофизические и оптические свойства диэлектрических пленок системы HfO[2]-Nd[2]O[3]
Язык: Рус.
Источник: Неорган. матер. 12, 1997, т.33, стр.1478-1481
Ключевые слова: оптические свойства; электрические свойства; диэлектрики

Реферат: Исследованы свойства диэлектрических пленок системы HfO[2]-Nd[2]O[3], полученные электронно-лучевым испарением в вакууме. Изучено влияние состава на электрофизические свойства пленок. Из вольт-фарадных характеристик рассчитаны параметры пленки и границы раздела полупроводник-диэлектрик. Изучение влияния температуры и электрического поля показало высокую термическую стабильность пленок системы HfO[2]-Nd[2]O[3]. Установлено влияние различных технологических воздействий на оптические характеристики пленок. Показана перспективность применения данных пленок в качестве диэлектрика тонкопленочных электролюминесцентных структур и термостабильных конденсаторов