( 522) # 22Б2522
Автор(ы): Кабалдин А. Н., Неймаш В. Б., Цмоць В. М., Штым В. С.
Оригинальное заглавие: Диффузионное насыщение примесью олова нелегированного аморфного гидрированного кремния
Язык: Рус.
Источник: Физ. и техн. полупровод. 3, 1998, т.32, стр.292-295
Ключевые слова: кремний; олово

Реферат: Изучено влияние радиационных дефектов на полевые и температурные зависимости магнитной восприимчивости монокристаллического Si. Обнаружена нелинейная зависимость магнитной восприимчивости облученного Si от магнитного поля, которая объясняется магнитным упорядочением А-центров, и сделан вывод о существовании скоплений этих центров с локальной концентрацией порядка 10{21} см{-3}. Предложено объяснение "диффузионного парадокса" в образовании кислородосодержащих термодоноров, основанное на учете микронеоднородностей пространственного распределения термодоноров и межузельного кислорода в Si