( 621) # 22Б2621
Автор(ы): Chen L. J., Lin J. H., Luo C. H., Hsieh W. Y., Liang J. M., Wang M. H.
Заглавие: Электронная микроскопия высокого разрешения аморфных межфазных слоев, формирующихся в системах кремний/тонкая пленка металла
Оригинальное заглавие: High resolution electron microscopy of amorphous interlayers between metal thin films and silicon
Язык: Англ.
Источник: Microsc. Res. and Techn. 2, 1998, т.40, стр.136-151
Ключевые слова: микроскопия электронная; поверхностные слои; системы; кремний; металлы

Реферат: Обзор эксперим. исследований (в основном, авторов) методом просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения аморфных межфазных слоев, формирующихся по механизму твердотельной диффузии в системах кремний/тонкая пленка металла (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta и др.). Библ. 25