( 670) # 22Б2670
Автор(ы): Kluth G. J., Sung M. M., Maboudian R.
Заглавие: Термостойкость самоорганизованных алкилсилоксановых монослоев на окисленной поверхности (100) кремния
Оригинальное заглавие: Thermal behavior of alkylsiloxane self-assembled monolayers on the oxidized Si(100) surface
Язык: Англ.
Источник: Langmuir 14, 1997, т.13, стр.3775-3780
Ключевые слова: мономолекулярные слои; кремний

Реферат: Методами спектроскопии энергетич. потерь электронов высокого разрешения, масс-спектрометрии и смачиваемости исследована термич. стабильность в ультравысоком вакууме (ПРИБЛ=10{-10} Тор) самоорганизованных монослоев (САМ) алкилтрихлорсиланов общей ф-лы CH[3](CH[2])[n]SiCl[3] с n=4, 8 и 18, а также, для сравнения, октадецилдиметилхлорсилана, сформированных на химически окисленной ПВ(100) кремния адсорбцией из р-ров в смеси гексадекана и хлороформа. Установлено что САМ всех алкилсиланов в вакууме стабильны при т-рах вплоть до ПРИБЛ=740 К. Выше этой т-ры начинается деструкция цепей алкилсиланов по механизму расщепления связей C-C, приводящая к десорбции углеводородных фрагментов. Затем наблюдается отщепление метильных групп, связанных с атомами Si. Головные силоксановые группы остаются связанными с ПВ вплоть до т-ры ПРИБЛ=1100 К