( 220) # 24Б2220
Автор(ы): Лозовский В. Н., Князев С. Ю., Нефедов А. С.
Оригинальное заглавие: Применение метода зонной перекристаллизации градиентом температуры для получения высоколегированных слоев кремния
Язык: Рус.
Источник: Изв. вузов. Сев.-Кавк. регион. Техн. н. 1, 1998, стр.111-114, 131
Ключевые слова: кристаллическая структура; кремний

Реферат: Рассматривается метод зонной перекристаллизации градиентом температуры как способ получения предельно легированных эпитаксиальных слоев кремния. Приводятся результаты исследования вхождения примеси (In, Ga, Al) в растущий кристаллический слой при ЗПГТ в стационарных и нестационарных температурных условиях, а также кинетики ЗПГТ в переменном температурном поле