( 274) # 24Б2274
Автор(ы): Куликов Д. В., Трушин Ю. В., Янков Р. А., Пецольдт Й., Скорупа В.
Оригинальное заглавие: Теоретическое описание высокотемпературной имплантации карбида кремния ионами N{+} и Al{+}
Язык: Рус.
Источник: Письма в ЖТФ 1, 1998, т.24, стр.39-44
Ключевые слова: кремний карбид; имплантация; алюминий; азот

Реферат: Теоретически исследовалась эволюция дефектной структуры в карбиде кремния (6H-SiC) при имплантации ионами N{+} и Al{+} разных энергий. Получено удовлетворительное согласие рассчитанных распределений дефектов и экспериментальных данных. Численно оценены следующие кинетические параметры карбида кремния: энергия миграции межузельных атомов кремния, параметры рекомбинации вакансий и межузлий в подсистемах углерода и кремния