Автор(ы): Sugai K., Okabayashi H., Kishida S., Shinzawa T.
Заглавие: Предварительная обработка [SiO[2]] титан-содержащей фтористоводородный кислотой для [последующего] химического осаждения алюминия из паровой фазы
Оригинальное заглавие: Titanium-containing hydrofluoric acid pretreatment for aluminum chemical vapor deposition
Язык: Англ.
Источник: Thin Solid Films 1-2, 1996, т.280, стр.142-146
Ключевые слова: травление; кремний диоксид; алюминий; водород фторид
