( 610) # 24Б2610
Автор(ы): Oehrlein G. S.
Заглавие: Поверхностные процессы в плазмах низкого давления
Оригинальное заглавие: Surface processes in low pressure plasmas
Язык: Англ.
Источник: Surface Sci. 1-3, 1997, т.386, стр.222-230
Ключевые слова: плазма; поверхностные явления

Реферат: Обзор исследований взаимодействия плазмы низкого давления с ПВ тонкопленочных материалов на основе кремния. Рассмотрены плазменное травление, методы измерений и поверхностные процессы, протекающие при плазменной обработке материалов. Особое внимание обращено на улучшение контроля за протеканием поверхн. плазменно-химических процессов. Библ. 65