( 613) # 24Б2613
Автор(ы): Springer R. W., Cameron B. J., Reeves G. A.
Заглавие: Новые экспериментальные и теоретические методы контроля свойств тонких пленок для изготовления мишеней
Оригинальное заглавие: New methods-experimental and theoretical-to control thin film properties for target fabrication
Язык: Англ.
Источник: Fusion Technol. 4, 1997, т.31, стр.449-455
Ключевые слова: пленки

Реферат: Предложена новая ионно-пучковая технология контроля ряда материаловедческих параметров при изготовлении тонких ПЛ. Новое устройство является модифицированным ионным источником Кауфмана, принципиальными отличиями которого служат конструкция решетки и открытое дно пушки. На дно добавлена дополнительная решетка для удерживания плазмы. При прохождении испаренных материалов через плазму они ионизируются, и на выходе из камеры с помощью нагретой нити, поставляющей электроны, образуется незаряженный пучок. Этим способом на изолирующие и проводящие подложки могут быть нанесены диэлектрические и проводящие материалы