( 806) # 24Б2806
Автор(ы): Migita S., Sakai K., Mori Z., Ota H., Aoki R.
Заглавие: Изучение системы конденсации озона методом термического распада
Оригинальное заглавие: Evaluation of ozone condensation system by thermal decomposition method
Язык: Англ.
Источник: Jap. J. Appl. Phys. Pt 1 1a, 1997, т.36, стр.94-97
Ключевые слова: конденсация физическая; озон; разложение термическое; оксиды; пленки

Реферат: Охарактеризована система конденсации озона, предназначенного для питания при росте оксидных ПЛ. Озон конденсирован методом АД на СГ, и его концентрация проанализирована способом термического распада. Концентрация озона превышает 90%, и поэтому он достаточно долгое время поступает в ростовую камеру без заметного разложения. Концентрация озона определена с помощью квадрупольных МС. Точность метода сравнивается с данными термического распада и отмечено преимущество МС